2,3,4 - 三羟基二苯甲酮 1,2 - 重氮萘醌 - 5 - 磺酸酯|CAS:68510-93-0(PAC 感光剂、DNQ 系光刻感光单体)
一、基础参数
分子量 480.45,外观亮黄至橙黄色结晶粉末;电子级纯度≥99.0%,工业级≥98.0%,游离酚≤0.3%,水分<0.5%
密度 1.39g/cm³,热分解温度>195℃,常温储存热稳定性佳
二、溶解与感光特性
溶解性:不溶于水;易溶于丙酮、丁酮、二氧六环、DMF;微溶于乙酸乙酯,难溶于芳烃、烷烃溶剂
感光波段 350~440nm,适配汞灯 g 线 436nm、i 线 365nm 光源,曝光脱氮生成羧基,碱水显影溶解